חברת POLYGON TAMARISK פיתחה מערכת הזנת WAFER למכונות ליטוש. המערכת עומדת
בסטנדרטים של חדרים נקיים CLASS 100 .
עקרון הפעולה מתבסס על מחסנית של 3 קומות של WAFER בהמתנה, אשר מוזנים אל
מכונות הליטוש ומתוכן על פי דרישה.
המערכת כוללת: קומות המתנה, מערכת הזנה מרחבית מבוקרת, מערכת מרכוז ומכלול
שמירת לחות.
|
