 חברה ישראלית המתמחה בתחום המשאבות, מוצרי ואקום ולחץ
לתעשייה מציעה גרסה חדשה לטווח מערכות ציפויי הואקום עבור
תהליך ציפוי שכבה עדינה.
ה-FT600 משלבת תא ציפוי ברוחב 600 מ"מ בעל הספק גדול,
ומערכת שאיבת ואקום יבשה. המערכת החדשה מתוכננת לאחראים
למחקר, פיתוח וייצור של שכבות שמשתמשים בהם במוליכים למחצה,
בתעשיות מדע ולייזר.
ל-TF600 יש מספר מאפייני תכנון חדשים כמו מיקום מערכת שאיבת
ואקום גבוה בגב התא, כדי לתת יניקה מהירה יותר. מערכת
השאיבה כוללת משאבות פיזור וקירור, בנוסף לטווח של משאבות
טורבו-מולקולריות רגילות.
אפשרויות לגיבוי ותא מחוספס כולל משאבת XDS 35I יבשה.
|
