 חברת N & A האמריקנית מספקת שרוולי חימום לצנרת גז. השרוולים משמשים להעברת
גזים כגון BCL3 , CIF3 , SIH2CL2 , TEOS , WF3 , או לתהליכים של
LPCVD PLASMA ETCHING , CVD .
שרוול החימום מגיע עד לטמפרטורה מקסימלית של 200 מ" צ, והטמפרטורה ניתנת
לשליטה בעזרת בקר. את שרוולי החימום ניתן להתאים גם לצנרת לוואקום גבוה.
השרוולים מסופקים במידה סטנדרטית או לפי שרטוט הלקוח, ומיוצרים לפי תקני
NEC & VLA , SEMI S2-93 .
|
