 הפרופיילר האופטי הייחודי מתוצרת Zeta Instruments (USA, CA) הינו האמצעי האולטימטיבי לאפיון פני שטח ולסריקת פגמים. עקב נוחות השימוש והזמינות הגבוהה של המכשיר לעבודה, לקוחות הופכים אותו לכלי המדידה העיקרי במעבדה.המכשיר מאפשר סריקה מהירה מאוד, ללא צורך בהכנת הדוגמה, בתנאי תאורה טבעית ונותן דו"ח מפורט וכולל תמונות בצבעי אמת (true color).המכשיר מגיע לרזולוציות ננו-מטרית הן ב- Z והן ב- X-Y.המכשיר כולל בתוכו חמש שיטות אופטיות ובנוסף יכולת שילוב AFM מובנה אינטגרלי.שילוב הטכנולוגיות מאפשר מדידות ואפיון של שכבות דקות, מספר שכבות, וכן פני שטח שונים ובעייתיים כגון שקופים, בעלי קונטרסט נמוך, עם החזרים נמוכים וגבוהים, חספוס גבוה, חספוס נמוך - פני שטח חלקים, שינויי גובה גדולים על פני המשטח, תעלות עםHigh Aspect Ratio ועוד.ריבוי היכולות מאפשר,בנוסף, סריקה לאיתור לכלוך, זיהומים ופגמים, תוך אפשרות הפרדה בין הפגמים לבין הלכלוכים, ולאפיין האם הם מצויים על פני המשטח העליונים, האחוריים או בתווך.
|
