 חברה ישראלית המתמחה בתחום המשאבות, מוצרי הואקום ולחץ
לתעשייה מציעה גרסה חדשה לטווח מערכות ציפויי הוואקום עבור
תהליך ציפוי של שכבה עדינה.
ה-FT600 משלבת תא ציפוי ברוחב 600 מ"מ בעל הספק גבוה,
ומערכת שאיבת ואקום יבשה. המערכת החדשה מתוכננת לתת עלייה
בתפוקה וגמישות עבור אלו האחראים למחקר, פיתוח וייצור של
שכבות שמשתמשים בהם במוליכים למחצה, תעשיות מדע ולייזר.
ל-FT600 יש מספר מאפייני תכנון חדשים, כמו מיקום מערכת
שאיבת ואקום גבוה בגב התא, כדי לתת יניקה מהירה יותר.
אפשרויות מערכת השאיבה כוללת משאבות פיזור וקירור, בנוסף
לטווח של משאבות טורבו-מולקולריות רגילות .
אפשרויות לגיבוי ותא מחוספס כולל משאבת XDS 35I יבשה.
|
