 תהליך ציפוי שכבה דקה
חברה ישראלית המתמחה בתחום המשאבות, ומוצרי הואקום ולחץ
לתעשייה, מציעה גרסה חדשה לטווח מערכות ציפויי הואקום עבור
תהליך ציפוי שכבה עדינה.
ה-FT600 משלבת תא ציפוי ברוחב 600 מ"מ בעל הספק גבוה, מערכת
שאיבת ואקום יבשה. המערכת החדשה מתוכננת לתת עליה בתפוקה
וגמישות עבור אלו האחראים למחקר, פיתוח וייצור של שכבות
המשתמשים בהם במוליכים למחצה, תעשיות מדע ולייזר.
ל-TF600 יש מספר מאפייני תכנון חדשים כמו מיקום מערכת שאיבת
ואקום - גבוה בגב התא, כדי לתת יניקה מהירה יותר. אפשרויות
מערכת השאיבה כוללות משאבות פיזור וקירור, בנוסף לטווח של
משאבות טורבו-מולקולריות רגילות .
אפשרויות לגיבוי ותא מחוספס כולל משאבת XDS 35I יבשה.
|
