 משאבות Scroll הן תחליף אולטימטיבי למשאבות רוטור להבים
(Rotary Vane) בתהליכים הדורשים שאיבה נטולת שמן. משאבות
XDS החדשות הן בעלות מגן מיסב, המוגן על ידי פטנט. המגן
מבודד את תא הוואקום מכל סוגי חומרי הסיכה, כך שהתהליך יבש
לחלוטין, ובנוסף הוא מגן על המסב מגזי התהליך. Adjustable
gas ballast מאפשר טיפול באדים ופותח מגוון רחב של יישומים
שהיו עד כה סגורים בפני משאבות Scroll.
* ? 2X10-2 מיליבר / ? 2X10-2 Torr
* 5 עד 30 מ"ק/שעה / 8.8 עד 17.6 ft3/min
|
