 מערכת לשינוע שימות ממגש תהליך סטנדרטי למגשי גרפית
המיועדים לתהליך צפוי CVD. המערכת כוללת שנוע מגשי תהליך
ושנוע מגשי גרפית.
שנוע השימות נעשה על ידי רובוט המונחה במצלמה עם מערכת
VISION. המערכת כוללת גריפר מלקחים ומגנטי, ומתקן הפיכה.
המערכות מותקנות במזרח הרחוק.
|
