 משאבות Scroll הן תחליף אולטימטיבי למשאבות רוטור להבים
(Rotary Vane) בתהליכים הדורשים שאיבה נטולת שמן. משאבות XDS
החדשות הן בעלות מגן מיסב, המוגן על ידי פטנט בפיתוח של
חברת BOC Edwards. המגן מבודד את תא הוואקום מכל סוגי חומרי
הסיכה, כך שהתהליך יבש לחלוטין, ובנוסף הוא מגן על המסב
מגזי התהליך. Adjustable gas ballast מאפשר טיפול באדים ופותח
מגוון רחב של יישומים שהיו עד כה סגורים בפני משאבות Scroll.
? ? 2X10-2 מיליבר / ? 2X10-2 Torr
? 5 עד 30 מ"ק/שעה / 8.8 עד 17.6 ft3/min
|
