 המערכת כוללת מקורות מסוג Magnetron תוצרת
Angstrom Science בקוטר של "2 ותכנון המערכת מאפשר
שדרוג לקטודות של "3.
במערכת מותקנים שני מחזיקי דגמים סובבים חשמלית,
אופקי ואנכי המאפשרים גמישות בבחירת אופן
הנידוף,אשר תוכננו במיוחד לדפינה רכה של המצעים
פריכים במיוחד.
פתיחה וסגירה של התא מתבצעת על ידי מנוע חשמלי
לינארי ומבוקרת אוטומאטית על ידי ה- PLC.
שני מחזיקי הדגמים מאפשרים טעינת דגמים קלה ונוחה.
מערכת השאיבה מבוססת על משאבת טורבו TMH251 ומשאבת
דיאפרגמה MVP55-2, שתיהן מתוצרת PFEIFFER מגרמניה.
מד וואקום מאפשר בקרה מלאה על רצף השאיבה ועל
התהליך.
המערכת מבוקרת PLC ומאפשרת הפעלה אוטומטית או
ידנית.
הבקר מאפשר עריכה ואחסנת תפריטי נידוף להפעלה
אוטומטית של התהליך המבוקש.
מערכת מיועדת לייצור סדרות קטנות ולמעבדות מחקר
ופיתוח.
|
