משאבה מדגם iL מתוכננת ספציפית עבור תהליכים נקיים, עלות תפעול נמוכה
ביותר, אמינות יוצאת מן הכלל ואחזקה מינימלית בין שיפוצים. עם הפעולה השקטה
של המשאבה, החיסכון במקום ומהירויות השאיבה הגבוהות, המשאבה אידיאלית לתאי
העברה, PVD loadlack , SEM ויישומים דומים.
גירסת iLN כוללת אפשרות הזרקת חנקן למיסב מיכני בפליטה (Shaft Seal) .
תכונות ויתרונות:
עלות תפעול נמוכה, ללא צורך בחנקן, הספק מנוע נמוך וצריכה מינימלית של מי
קירור. תיכנון יעיל ואומפקטי - מבנה משאבה קטן יחד עם מהירות שאיבה גבוהה.
עומד בתקני CE ,Semi S2 , UL ו S Mark- קוריאני.
|
