חברת "POLYGON TAMARISK" סיימה פיתוח של מערכת הזנת WAFER למכונות ליטוש.
המערכת עומדת בסטנדרטים של חדרים נקיים CLASS 100 .
עקרון הפעולה מתבסס על מחסנית של 3 קומות של WAFER בהמתנה, אשר מוזנים אל
ומתוך מכונות הליטוש ע" פ דרישה.
המערכת כוללת: קומות המתנה, מערכת הזנה מרחבית מבוקרת, מערכת מרכוז ומכלול
שמירת לחות.
|
