משאבה מדגם iL מתוכננת ספציפית עבור תהליכים נקיים. עלות התפעול נמוכה,
האמינות רבה והצורך באחזקה הוא מינימלי. בזכות הפעולה השקטה של המשאבה,
החיסכון במקום ומהירויות השאיבה הגבוהות, המשאבה אידיאלית לתאי העבר SEM
PVD loadlack ויישומים דומים.
גירסת iLN כוללת אפשרות הזרקת חנקן למיסב מיכני בפליטה (Shaft Seal) .
התכנון יעיל וקומפקטי - מבנה משאבה קטן עם מהירות שאיבה גבוהה.
עומד בתקני CE ,Semi S2 , UL ו S Mark- הקוריאני.
|
