 פיתוח חדשני של חברת HIDEN מאפשר בדיקת הרכב הגזים במערכת ואקום, תוך כדי
תהליך שבין 10-2mbar ועד . .10-1mbar תהליך RGA עם רמת רגישות גבוהה מאוד.
המערכת ממוחשבת ומאפשרת איסוף נתונים והתרעות במקרה של גלישה מחוץ לתחום
העבודה. כן היא מאפשרת ניתוח סטטיסטי והשוואת תהליכים, עם תחום מדידה
. .0-100amu המכשיר מתאים לרוב הגזים הנמצאים בתהליכים של Semiconductor ,
לציפויים ולתנורי ואקום.
המכשיר מתאים לגילוי דליפות ולצפיית נתוני המערכת.
|
