 חברה ישראלית נתמנתה כמייצגת הבלעדית של חב' FERROTEC , המייצרת מעברים
וצירי מעבר FERROFLUIDICS להעברות תנועה מלחץ אטמוספרי לוואקום בינוני
ולוואקום גבוה, עד MBAR L/S ו10-9- .
מהירות הסיבוב עד 000 RPM , 10 ורמת הניקיון TOTAL OIL FREE ייחודיות לסוג זה
של צירים פרופלואידים.
הצירים והמעברים מיועדים לעבודה במערכות נידוף וציפוי במכונות שבהן זורמים
גזים ריאקטיביים כגון MOCVD LPCVD PECVD .
מערכות סיבוב ION IMPLANTATION : רובוטיקה WAFER HANDLING ומנועי סרבו.
הצירים מיוצרים בקטרים ובאורכי צירים שונים.
|
