 חברת N & A האמריקנית מספקת שרוולי חימום לצנרת גז. השרוולים משמשים להעברת
גזים כגון BCL3 , CIF3 , SIH2CL2 , TEOS , WF3 , או לתהליכים של
LPCVD PLASMA ETCHING , CVD .
שרוול החימום מגיע עד לטמפרטורה מקסימלית של 200 מ" צ והטמפרטורה ניתנת
לשליטה בעזרת בקר. את שרוולי החימום ניתן להתאים גם לצנרת לוואקום גבוה.
השרוולים מסופקים במידה סטנדרטית או לפי שרטוט הלקוח ומיוצרים לפי תקני
NEC & VLA , SEMI S2-93 .
|
