מוצעת משאבה מדגם iL , מתוכננת ספציפית עבור תהליכים נקיים. עלות התפעול
נמוכה ביותר, אמינות מצוינת, ואחזקה מינימלית בין שיפוצים. בזכות הפעולה
השקטה של המשאבה, החיסכון במקום ומהירויות השאיבה הגבוהות, המשאבה אידיאלית
לתאי העברה, PVD loadlack , SEM ויישומים דומים.
גירסת iLN כוללת אפשרות הזרקת חנקן למסב מכני בפליטה (Shaft Seal) .
תכונות: עלות תפעול נמוכה, ללא צורך בחנקן, הספק מנוע נמוך וצריכה מינימלית
של מי קירור, תכנון יעיל וגודל קומפקטי - מבנה משאבה קטן ומהירות שאיבה
גבוהה. עומד בתקני CE , Semi S2 , UL ו S Mark- קוריאני.
|
