64
77 ןויליג
לוהינו הישעת
הנשמו ,ויתחת םיחנומה )
microchannels
( םיצורע
”.םכרואל תודגנתהה תדימ תא
לש םישדח םיגוס רוציל תויושע תוכר תונוכמ
.)
MEMS
( תוינאכמ ורטקלא ורקימ תוכרעמ
תמגוד ,םויכ שומישב תואצמנה
MEMS
תוכרעמ
ירצומב םיאצמנה םיפוקסוריג ,םיריעז הצואת ידמ
םירצומו בכר לש ריווא תוירכ ,םיינורטקלא הכירצ
,םלוא .תושקונ תוכתממ םויכ םייושע ,םירחא
יביכר לש םרוציי רשפאל יושע שדחה חותיפה
םימושייל תלד חותפל םייושעש ,םיכר
MEMS
.םימדקתמו םישדח
לכב יתשקה ןשייחב הסוכמה תישונא די ףכ לש רויא )
a
( .תיטובור הקיטמניקו םדאה ףוג תועונת לש תוינשלופ אל תודידמ רשפאמ )
LE
3( רמוטסלא ססובמ יתשק ןשייח
טפסנוק )
b
( .ךילומ לזונב םיאלוממה םיצורע-ורקימב תצבושמה רמוטסלא מ”מ 300 לש הבכש ליכמ ןשייחה .עבצא הסכמה יתימא ןשייח תוארל ןתינ הנטקה הנומתב .קרפמ
)וידרפ תטיסרבינוא - רמיירק הקבר( םיקרפמב םינשייחה ובכרוה וילע טובור לש
94125
62 'מעמ ךשמה