Basic HTML Version
98 ןויליג הימיכ
16
תא ךפוה רואה ,רוטסיזרוטופה גוסב תולתב
הסורפה רשאכש ךכ ,סיסמ תוחפ וא רתויל רצותה
ולא וא ,םיפושחה םיקלחה ,סממה ךותב תעקשומ
לע ןגמ רוטסיזרוטופה .םיפטשנ ,םיפושח םניאש
טוויחהו םירוטסיזנרטה תא םירצויש םירמוחה
השעמל רשפאמו )etching( לוכיאה ךילהת ינפמ
.הסורפה ךות לא יוצרה רמוחה תעקשה תא
לע רזוח לוכיאו הפיטש ,הפישח לש הז ךילהת
.בבשה יקלח לכ תריציל דע ,םימעפ רפסמ ומצע
איה ,םימייקה םירוטסיזרוטופה םע היעבה םלוא
תטלופה הרואת רובע רוקמב וחתופ השעמל םהש
248 לש לג יכרוא םע קומע לוגס-הרטלוא רוא
רתוי םיקד םיווק גישהל ידכ ךא .רטמוננ 193-ו
רוא רוקמל רובעל היישעתה לע ,בבשה יבג לע
רוא .דבלב רטמוננ 13.5 לש רתוי רצק לג ךרוא םע
extreme ultraviolet -
( הז ינוציק לוגס-הרטלוא
היעבה ךא ,םיינויסינ רוציי יווקל עיגה רבכ )
EUV
םינכומ םניא םימייקה םירוטסיזרוטופהש איה
.ותועצמאב יתיישעת רוצייל
םיגוס ינש
םינטק םיביכר הצור רוטקודנוקימסה תיישעת"
ינוציק לוגס-הרטלוא רואש דועבו ,רתוי דוע
םישרדנ ןיידע ונחנא ,החיטבמ היגולונכט הווהמ
רוציל ולכויש םירוטסיזרוטופ רובע םירמוחל
.יבשא ריבסמ ,"רשפאמ אוהש היצולוזרב תוינבת
םיגוס ינש ורקח קינילואו יבשא תושארב םיתווצ
,
crosslinking
ארקנ דחא .םירוטסיזרוטופ לש
ןה רשאכ םירשק תורצויה תולוקלוממ בכרומה
לעבל בשחנ אוהו ,לוגס-הרטלוא רואל תופשחנ
ןמזב תוועתמ וניאש ,הבוט תינאכמ תוביצי
םה ומע םירצונש םיווקה ,רמולכ - חותיפה
תעבונ תויתייעבה .םיסרוק םניאו םיהובג ,םיקד
.הרקיו הכורא הפישח שרוד תובלצה ףדועש ךכמ
הפישח שרוד וניאו דחוימב שיגר אוה ינשה גוסה
.ןושארה לש תינאכמה תוביציה ול ןיא ךא ,הכורא
םיזוכירב םיגוסה ינש תא ובליש םירקוחה רשאכ
תונוכתה תא רמשל ןתינ יכ ואצמ םה ,םינוש
שומישב וקדבנ םירמוחה .םהמ דחא לכמ תובוטה
-הרטלוא רואה לש תוינבתה תריצי תולוכי םע
ילג תקיטפואל זכרמה תדבעמב ינוציקה לוגס
תומיד ,היצקירבפ-וננ ינקתימ תועצמאב .ןגטנר
תא םירקוחה וחתינ ,היצלופינמו )
Imaging
(
םירופיש ושענ יכ והיז םה .ורצונש תוינבתה
ורצונש םיווקה לש )
smoothness
( תוחיטשה תמרב
.וצווכ רשאכ םג ,רוטסיזרוטופה תועצמאב
וניחבה םג םירקוחה ,תימיכ הזילנא תועצמאב
ועיפשה םיפסותה לש תונוש זוכיר תומר דציכ
העפשההו םיבלוצה םירושיקה תריצי ןונגנמ לע
לש תושיגרהו תוביציה לע הז טקפא לש תיוולנה
.רמגומה רצותה
לש היצזימיטפוא
תימיכה החסונה
םתדובע דקמתת דיתעב יכ םירמוא םירקוחה
לש תימיכה החסונה לש היצזימיטפואב
דחוימב םיריעז םיביכר רובע רוטסיזרוטופה
.רחמה לש םידבעמ-ורקימה תא ושמשיש
תארקל תננוכתמ רוטקודנוקימסה תיישעת
ךלי לוכה םא .רטמוננ 10-ה יבבשל רוצייה יכילהת
םישדחה םירוטסיזרוטופה ירמוח ,תוינכתה פ"ע
ךכב ורזעיו ךילהתב יזכרמ דיקפת קחשל םייושע
.רומ קוח תויבקע לע רומשל
רתוי םינטק ראתמ יווק ילעב תוינבת רוציל ןתינ ,)לאמש( םירוטסיזרוטופל םיפסומ )
cross linker
( םיבלוצ םירושיק ילעב םיפסות לש םיכומנ םיזוכיר רשאכ
)ילקרב תודבעמ ,ה'תשרשלוק טנאשרפ :םוליצ( )ןימי( הובג םיבלוצה םירושיקה לש זוכירה וב הרקמב ומכ ,תורקיו תוכורא תופישחב ךרוצ ןיאו
)ילקרב תודבעמ ,טדימשטלק יור :םוליצ( הדבעמב ינוציק לוגס-הרטלוא רוא רוקמ דיל םידמוע,ילקרב תודבעממ ,קינילוא הרדריידו יבשא לופ
14 'מעמ ךשמה