משאבה מדגם iL מתוכננת במיוחד עבור תהליכים נקיים. עלות התפעול נמוכה
ביותר, אמינותה מצוינת, והאחזקה בין שיפוצים מינימלית. בזכות פעולה שקטה של
המשאבה, חיסכון במקום ומהירויות שאיבה גבוהות, המשאבה אידיאלית לתאי העברה,
PVD loadlack , SEM ויישומים דומים.
גירסת iLN כוללת אפשרות הזרקת חנקן למסב מכני בפליטה (Shaft Seal) .
תכונות: עלות תפעול נמוכה, ללא צורך בחנקן, הספק מנוע נמוך וצריכה מינימלית
של מי קירור, תכנון יעיל.
הדגם קומפקטי - מבנה משאבה קטן יחד עם מהירות שאיבה גבוהה. הוא עומד בתקני
CE ,Semi S2 , UL ו S Mark- קוריאני.
|
