 חברה ישראלית המתמחה בתחום המשאבות, מוצרי הוואקום והלחץ
לתעשייה, מציעה גרסה חדשה לטווח מערכות לציפויי הוואקום
עבור תהליך ציפוי שכבה עדינה. המערכת משפרת את התפוקה
והגמישות בתהליך זה.
המערכת, FT600 , משלבת תא ציפוי ברוחב 600 מ"מ בעל הספק
גבוה, ומערכת שאיבת ואקום יבשה. המערכת החדשה מתוכננת
להעלות את התפוקה והגמישות עבור אלה האחראים למחקר, לפיתוח
ולייצור של שכבות והמשתמשים בהן במוליכים למחצה, בתעשיות
מדע ולייזר.
ל-TF600 יש מספר מאפייני תכנון חדשים כמו מיקום מערכת שאיבת
ואקום גבוה בגב התא, כדי לתת יניקה מהירה יותר. האפשרויות
של מערכת השאיבה כוללת משאבות פיזור וקירור, נוסף לטווח של
משאבות טורבו-מולקולריות רגילות . וכן אפשרויות לגיבוי ותא
מחוספס, כולל משאבת XDS 35I יבשה.
|
