 משאבות מדגם iH בעלות אמינות גבוהה, יחד עם עלות תפעול נמוכה בתהליכים
מסובכים כמו etch , PECVD ו LPCVD - בייצור למסכים שטוחים וייצור פרוסות
סיליקון.
תכונות ויתרונות:
מבנה מיכני חזק לעומס עבודה גבוה, אופטימלי לתהליכים קשים. טמפרטורת עבודה
גבוהה מונעת קונדנסציה. במשאבה תיכנון יעיל וקומפקטי - מבנה משאבה קטו יחד
עם מהירות שאיבה גבוהה.
עלות תפעול (cost of ownership) נמוכה.
עומד בתקן CE , Semi S2 , UL ו S Mark- קוריאני.
|
