חברה ישראלית מתמחה בתחום ציפויים קרמים דקים המיוצרים על פי טכנולוגיה
(HVLTS) High Voltage Low Temperature Sputtering מתקדמת וpatented-
בטמפרטורות נמוכות בטווח 30-150c
הציפויים הנ" ל הגם אמורפים, צפופים ובעלי הדבקה גבוה לחומרים שונים: מתכות,
קרמיקה, פלסטיקים ו. .composite materials- הציפויים הם- בעלי עמידות טובה
בפני שחיקה מכנית וקורוזיה.
הצלחה הגדולה ביותר של חברה היא בתחום המיקרו- אלקטרוניקה:
. .1 שימוש הציפוי סיליקה SiO2 - מוריד המיקרו- שחיקה של חלקים מתחככים
ומפחית ריכוז המיקרו- אבק בבדיקת wafers מסיליקון. משטחים מלוטשים של vacuum
chucks ו end effectors - מצופים בציפוי סיליקה SiO2 - בעובי 1-2u .
. .2 הגדלת משך החיים של מיקרו- כלים להלחמת chips באמצעות ציפוי מגן עם
מקירו- קושי TiN) , LO3 ,(Al2 , שאינו מושפע מפעילות מתכת מותכת.
. .3 הגנה אלמנטים מתכתיים מלוטשים מנירוסטה, Inconel ואלומיניום בפני
קורוזיה בסביבות גז אגרסיביות ובפני השפעת קרינה לזר ) ציפויים
AIN) , SiO2 ,(SiC .
|
