משאבה מדגם iL מתוכננת ספציפית עבור תהליכים נקיים. הפעולה שלה שקטה, יש
חיסכון רב במקום ומהירויות השאיבה גבוהות. המשאבה אידיאלית לתאי העברה,
PVD loadlack , SEM ויישומים דומים.
גרסת iLN כוללת אפשרות הזרקת חנקן למיסב מיכני בפליטה (Shaft Seal) .
יתרונות: עלות תפעול נמוכה, ללא צורך בחנקן, הספק מנוע נמוך וצריכה
מינימלית של מי קירור. תכנון יעיל וקומפקטי.
המשאבה עומדת בתקני CE ,Semi S2 , UL ו S Mark- קוריאני.
|
